Transport container for disc-like substrates

摘要

Bei einem Transportbehälter für scheibenförmige Objekte besteht die Aufgabe, ohne die Handhabbarkeit einzuschränken, Partikel beim Öffnen des Transportbehälters von dessen Innenraum fernzuhalten und zu entfernen, insbesondere auch solche, die sich in den Türspalten befinden. Die Reinigung soll als Selbstreinigungsprozeß auch dann wirksam sein, wenn mehrere Transportbehälter übereinandergestapelt sind und ein Zugriff wahlweise erfolgt. Gemäß der Erfindung sind zumindest Teile des Rückwandbereiches einer verschließbaren Behälterhülle als Plenumkammer ausgebildet, die im Grundbereich und Deckbereich des Behälters einen verschließbaren Lufteintritt und einen verschließbaren Luftaustritt aufweist und von der über ein Filter eine Verbindung in das Behälterinnere besteht. Der Lufteintritt ist sowohl zu einem Anschluß eines Gasreservoirs als auch zu einem Luftaustritt eines weiteren Transportbehälters für eine Kopplung komplementär ausgebildet. Die Erfindung ist bei der Herstellung integrierter Schaltkreise anwendbar.