发明名称 MIKROPROBE FÜR EINEN OBERFLÄCHEN-RASTERMIKROSKOP
摘要
申请公布号 DE69217051(T2) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 DE1992617051T 申请日期 1992.06.12
申请人 BRITISH TECHNOLOGY GROUP LTD., LONDON, GB 发明人 BUSER, RUDOLF, ALFRED, CH-2000 NEUCHATEL, CH;BRUGGER, JUERGEN, CH-2000 NEUCHATEL, CH;LINDER, CHRISTIAN, CH-2006 NEUCHATEL, CH
分类号 G01B7/28;G01B7/012;G01B7/34;G01N27/00;G01N37/00;G01Q70/10;G01Q70/16;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/28
代理机构 代理人
主权项
地址