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发明名称
摘要
申请公布号 JP2607310(B2) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 JP19900339314 申请日期 1990.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/417;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
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