发明名称 INSULATING FILM COATING METHOD OF DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09106982(A) 申请公布日期 1997.04.22
申请号 JP19950287898 申请日期 1995.10.09
申请人 YAMAHA CORP 发明人 NAKAMURA TORU;KAWAHARA SHINICHI
分类号 H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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