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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE4341171(C2) 申请公布日期 1997.04.17
申请号 DE19934341171 申请日期 1993.12.02
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 SCHWALKE, UDO, DR.RER.NAT., 84431 HELDENSTEIN, DE;BIERINGER, FRITZ, DIPL.-ING. (FH), 80809 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/302;G03F7/207;H01L21/3065;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/762;H01L23/544 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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