Photo-electrical length or angle measuring device

摘要

Eine photoelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung umfaßt eine Abtasteinheit mit mehreren zueinander verschoben angeordneten Teil-Abtastfeldern sowie den Teil-Abtastfeldern zugeordneten Detektorelementen, die bei der photoelektrischen Abtastung eines Maßstabes modulierte und phasenverschobene Ausgangssignale liefern. Den Teil-Abtastfeldern sind desweiteren räumlich getrennte, richtungsselektiv wirkende Ablenkmittel zugeordnet sind, die eine Ablenkung zumindest eines Teiles der durch die Teil-Abtastfelder tretenden Teilstrahlenbündel in Richtung eines gemeinsam beaufschlagten Teilbereiches auf dem Maßstab bewirken. <IMAGE>