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发明名称 Vorrichtung zum Scannen von Wafern
摘要
申请公布号 DE3588132(T2) 申请公布日期 1997.04.03
申请号 DE19853588132T 申请日期 1985.09.19
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 ROBINSON, FEDERICK J.L., CRAWLEY, SUSSEX RH10 2AD, GB;WAUK, MICHAEL T., HAYWARDS HEATH, WEST SUSSEX RH16 1XP, GB
分类号 C23C14/48;C23C14/50;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/20;H01L21/68 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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