| 发明名称 |
COMPOSITE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0974055(A) |
申请公布日期 |
1997.03.18 |
| 申请号 |
JP19950228335 |
申请日期 |
1995.09.05 |
| 申请人 |
UBE IND LTD |
发明人 |
FUJII KAZUHIRO;SHIMIZU MICHIMASA |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
