| 发明名称 |
RING SHAPE MAGNETRON SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0931640(A) |
申请公布日期 |
1997.02.04 |
| 申请号 |
JP19950207467 |
申请日期 |
1995.07.21 |
| 申请人 |
TOYAMA PREF GOV;TAKAHASHI RYUICHI |
发明人 |
IWATSUBO SATOSHI;TAKAHASHI RYUICHI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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