发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT ARRANGEMENT WITH AT LEAST TWO COMPONENTS INSULATED FROM ONE ANOTHER AND A PROCESS FOR PRODUCING THE SAID CIRCUIT ARRANGEMENT |
摘要 |
Eine integrierte Schaltungsanordnung mit mindestens zwei Bauelementen umfasst in einem Substrat eine Isolationsstruktur (4', 5) zwischen den Bauelementen, die mindestens eine Flanke eines Grabens (3) bedeckt und die am Grabenboden dicker ist als am Grabenhals. Die Bauelemente sind dabei in verschiedenen Ebenen an der Substratoberfläche und am Grabenboden angeordnet. Die Isolationsstruktur bewirkt eine vertikale Isolation zwischen den Bauelementen.
|
申请公布号 |
WO9703463(A1) |
申请公布日期 |
1997.01.30 |
申请号 |
WO1996DE01109 |
申请日期 |
1996.06.24 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;LAU, FRANK;KRAUTSCHNEIDER, WOLFGANG;ENGELHARDT, MANFRED |
发明人 |
LAU, FRANK;KRAUTSCHNEIDER, WOLFGANG;ENGELHARDT, MANFRED |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L21/8234;H01L21/8246;H01L27/088;H01L27/112;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/308;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|