发明名称 TEST METHOD OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH098090(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950189670 申请日期 1995.06.21
申请人 IGARASHI MAKOTO 发明人 IGARASHI MAKOTO
分类号 G01R31/26;G01R31/30;G11C29/00;G11C29/56;H01L21/66;H01L21/8247;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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