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发明名称 Vorrichtung zur Bildung von Dünnschichten
摘要
申请公布号 DE19581484(T1) 申请公布日期 1997.01.02
申请号 DE19951081484T 申请日期 1995.11.28
申请人 MIKROKEMIA OY, ESPOO, FI 发明人 SOININEN, PEKKA, HELSINKI, FI;PATTERI, JANNE, VANTAA, FI
分类号 C30B25/02;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/54;C30B25/08;C30B25/10;C30B25/14;C30B35/00;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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