发明名称 BESOI WAFER AND PROCESS FOR STRIPPING OUTER EDGE THEREOF
摘要
申请公布号 EP0744082(A1) 申请公布日期 1996.11.27
申请号 EP19950941409 申请日期 1995.11.16
申请人 SIBOND, L.L.C. 发明人 GOLLAND, DAVID, I.;CRAVEN, ROBERT, A.;BARTRAM, RONALD, D.
分类号 H01L21/304;H01L21/02;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/461;H01L27/01 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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