| 发明名称 |
APPARATUS FOR CVD FILM FORMATION AND FILM FORMING METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08311653(A) |
申请公布日期 |
1996.11.26 |
| 申请号 |
JP19950138558 |
申请日期 |
1995.05.12 |
| 申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
ANDO AKIRA;TAKESHIMA YUTAKA;NAKAMURA TAKANORI;TOMONO KUNISABURO;SHIRATSUYU KOUSUKE |
| 分类号 |
C30B25/16;C23C16/44;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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