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发明名称
摘要
申请公布号
JP2556157(B2)
申请公布日期
1996.11.20
申请号
JP19900023680
申请日期
1990.02.02
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
TAKAHASHI MASANAGA
分类号
H01L21/56;B29C33/12;B29C45/02;B29C45/36;B29C45/37;B29L31/34;(IPC1-7):H01L21/56
主分类号
H01L21/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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