| 发明名称 |
CLEANING METHOD USING SUPERCRITICAL AND SUBCRITICAL FLUID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08290128(A) |
申请公布日期 |
1996.11.05 |
| 申请号 |
JP19950095151 |
申请日期 |
1995.04.20 |
| 申请人 |
SHIYUUZU RIFURETSUSHIYAA KAIHATSU KYODO KUMIAI |
发明人 |
ARAI KUNIO;INOMATA HIROSHI;TSUCHIYA YOSHIFUMI |
| 分类号 |
B08B3/00;A47L23/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/00 |
主分类号 |
B08B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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