发明名称 Metallnitridfilm
摘要
申请公布号 DE69213898(D1) 申请公布日期 1996.10.24
申请号 DE19926013898 申请日期 1992.10.22
申请人 FORD-WERKE AG, 50735 KOELN, DE 发明人 PROSCIA, JAMES WILLIAM, DEARBORN, MICHIGAN 48124, US;WILLIAMS, KEITH BRIAN, DETROIT, MICHIGAN 48227, US;RECK, GENE P., FRANKLIN, MICHIGAN 48025, US
分类号 C01B21/06;C01B21/076;C03C17/22;C23C16/34;(IPC1-7):C01B21/06 主分类号 C01B21/06
代理机构 代理人
主权项
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