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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD AND SUSCEPTOR THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH08268796(A) 申请公布日期 1996.10.15
申请号 JP19950109920 申请日期 1995.03.29
申请人 TOYO TANSO KK 发明人 HIRANO HIROYUKI
分类号 C30B25/12;(IPC1-7):C30B25/12 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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