发明名称 Semiconductor device and method of fabricating semiconductor device
摘要
申请公布号 GB9615935(D0) 申请公布日期 1996.09.11
申请号 GB19960015935 申请日期 1996.07.30
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/335;H01L21/8252;H01L29/778;H01S5/223;H01S5/32;H01S5/34;H01S5/343 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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