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经营范围
发明名称
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08203896(A)
申请公布日期
1996.08.09
申请号
JP19950010968
申请日期
1995.01.26
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SAKATA KAZUYUKI
分类号
H01L23/52;H01L21/318;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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