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发明名称 DRAM-Zellenstruktur mit Grabenkondensator
摘要
申请公布号 DE69429146(D1) 申请公布日期 2002.01.03
申请号 DE19946029146 申请日期 1994.09.16
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 IBA, JUNICHIRO;KOHYAMA, YUSUKE
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/82 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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