| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT DEVICE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR960010061(B1) |
申请公布日期 |
1996.07.25 |
| 申请号 |
KR19930002681 |
申请日期 |
1993.02.25 |
| 申请人 |
FUJITSU K.K. |
发明人 |
SHIN, DAIDEI;HARADA, HIDEKI |
| 分类号 |
C08G77/62;C08G77/48;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
C08G77/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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