发明名称 INTERFEROMETRIC METHOD AND APPARATUS TO MEASURE SURFACE TOPOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP0722558(A1) 申请公布日期 1996.07.24
申请号 EP19940924018 申请日期 1994.07.25
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 BIEGEN, JAMES, F.
分类号 G01B9/02;G01B9/04;G01B11/24;G01B11/30;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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