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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINER FLACHEN E.C.R.-SCHICHT IN EINEM MICROWELLENPLASMAAPPARAT
摘要
申请公布号 DE69209647(D1) 申请公布日期 1996.05.09
申请号 DE19926009647 申请日期 1992.07.10
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT, CALIF., US 发明人 CHEN, CHING-HWA, MILPITAS, CA 95035, US;YIN, GERALD, CUPERTINO, CA 95014, US;INOUE, TAKASHI, CHIGA 520, JP
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H05H1/18 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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