发明名称 VERFAHREN ZUR TROCKENENTWICKLUNG EINER SILIZIUMHALTIGEN ULTRAVIOLETT- UND/ODER ELEKTRONENSTRAHLEMPFINDLICHEN LACKSCHICHT
摘要
申请公布号 AT136132(T) 申请公布日期 1996.04.15
申请号 AT19920919410T 申请日期 1992.09.10
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 KLUMPP, ARMIN;HACKER, ERWIN
分类号 G03F7/16;G03F7/36;H01L21/311;(IPC1-7):G03F7/36;G03F7/075 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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