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发明名称 SURFACE PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH0897124(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940233917 申请日期 1994.09.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKUDA MITSUO;KOIZUMI KOTARO;TSUNEKAWA SUKEYOSHI;MIYASHITA HISASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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