| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1376839(C) |
申请公布日期 |
1996.03.10 |
| 申请号 |
SU19853978216 |
申请日期 |
1985.11.18 |
| 申请人 |
YAROSLAVSKOE NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "ELEKTRONPRIBOR" VSESOYUZNOGO PROIZVODSTVENNOGO OB"EDINENIYA "SOYUZTEKHNOPRIBOR" |
发明人 |
LIZIN A.I.;TOYAKOV N.P. |
| 分类号 |
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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