发明名称 TESTER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0845996(A) 申请公布日期 1996.02.16
申请号 JP19940177871 申请日期 1994.07.29
申请人 NEC CORP 发明人 FUJIMURA TAKUMA
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址