| 发明名称 |
ION IMPLANTER AND METHOD FOR IMPLANTATION OF ION BEAM INTO WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0836987(A) |
申请公布日期 |
1996.02.06 |
| 申请号 |
JP19950051368 |
申请日期 |
1995.03.10 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICDS INC |
发明人 |
DONARUDO ERU FURIIDO;BAN RE;DENBAA ERU DORUMAN |
| 分类号 |
G21K5/04;C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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