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发明名称 METHOD FOR FORMING OXIDATION PREVENTION FILM FOR SEPARATING ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0817814(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940168949 申请日期 1994.06.28
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAHASHI HIROSHI
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/823 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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