| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SILICON WAFER AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07297200(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940083345 |
申请日期 |
1994.04.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO COMPUT ENG CORP |
发明人 |
KUBOTA ATSUKO;ISHIHARA KATSUNORI |
| 分类号 |
H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 |
主分类号 |
H01L21/322 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
