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Ein Plasmagerät mit einer Plasmakammer (6), in der durch Einleitung elektromagnetischer Energie ein Plasma erzeugbar ist, ist zur Erstellung eines einfachen Aufbaus und zur Herstellung einer kontrollierten Plasmaverteilung gekennzeichnet durch einen rechteckigen Hohlleiter (1) mit einem Hochfrequenzgenerator (12) zur Erzeugung von Hochfrequenzenergie in dem Hohlleiter und mit einem seitlichen Fenster (2, 2', 2'') zur Auskopplung von Hochfrequenzenergie; einen seitlich an dem Hohlleiter (1) anschliessenden und mit diesem über das Fenster (2, 2', 2'') verbundenen Übertragungsraum (4), der sich parallel zur Plasmakammer (6) erstreckt und eine Trennwand (5) zwischen dem Übertragungsraum (4) und der Plasmakammer (6), wobei die Verteilung der durch die Trennwand (5) in die Plasmakammer (6) übertragenen Hochfrequenzenergie durch ein mit Durchgangsöffnungen (13) versehenes metallisches Blech (7) in der Trennwand (5) und/oder eine angepasste Geometrie des Übertragungsraumes (4) beeinflussbar ist.
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