| 发明名称 |
METHOD OF DRY-ETCHING AMORPHOUS SILICON FILM AND MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07263417(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19940050117 |
申请日期 |
1994.03.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKANO TAKAO;YORITOMI YOSHIFUMI;TODOROKI SATORU;TAKAHASHI MIKIO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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