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发明名称 CLEANER
摘要
申请公布号 JPH07263399(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940047364 申请日期 1994.03.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 IWASHITA MASAFUMI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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