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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07249615(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940038224 申请日期 1994.03.09
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 ITOU ATSUSHI
分类号 C30B25/14;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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