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发明名称 CLEANING LIQUID AND CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07245281(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940058258 申请日期 1994.03.04
申请人 NIPPON STEEL CORP;NITTETSU DENSHI KK 发明人 MORI YOSHIHIRO;SAKON TADASHI;KAMIMURA KENICHI;HATANAKA HIROYUKI;TARUNAGA SHINJI
分类号 B08B3/08;C11D1/22;C11D7/06;C11D7/18;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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