| 发明名称 | 等离子加工装置 | ||
| 摘要 | 一种等离子加工装置，其中加工气体在圆环形内电极(11)和圆环形外电极(21)之间被等离子化。热导内温度调节部件(50)通过螺栓(7)挤压在内电极(11)的内周面上。热导外温度调节部件(60)通过螺栓(8)挤压在外电极(21)的外周面上。内、外部件(50、60)是可膨胀的和可收缩的C形形状。 | ||
| 申请公布号 | CN100511583C | 申请公布日期 | 2009.07.08 |
| 申请号 | CN200710169238.7 | 申请日期 | 2004.03.04 |
| 申请人 | 积水化学工业株式会社 | 发明人 | 野上光秀;宫本荣司 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/311(2006.01)I;H01L21/3213(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;C23C16/509(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈 平 |
| 主权项 | 1. 一种等离子加工装置，其中加工气体被等离子化，被等离子化的气体被施加到工件上，所述装置包括：环形内电极；环形外电极，所述环形外电极的直径比所述环形内电极的直径大并且所述环形外电极围绕所述环形内电极；热传导内温度调节部件，所述热传导内温度调节部件包括允许用于所述内电极的温度调节介质通过的内介质通道，并具有C形结构，所述热传导内温度调节部件能够在所述部件与所述内电极的内周表面相邻的第一位置和所述部件直径收缩的第二位置之间膨胀和收缩，所述部件直径收缩的方式是：径向向内从所述内电极的内周表面分离；热传导外温度调节部件，所述热传导外温度调节部件包括允许用于所述外电极的温度调节介质通过的外介质通道，并具有C形结构，所述热传导外温度调节部件能够在所述部件与所述外电极的外周表面相邻的第一位置和所述部件直径膨胀的第二位置之间膨胀和收缩，所述部件直径膨胀的方式是：径向向外从所述外电极的外周表面分离。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||