发明名称 Sampling head.
摘要
申请公布号 EP0425859(B1) 申请公布日期 1995.09.13
申请号 EP19900119540 申请日期 1990.10.11
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORPORATION 发明人 UCHIDA, SATORU, C/O YOKOGAWA ELECTRIC CORP.;MIURA, AKIRA, C/O YOKOGAWA ELECTRIC CORP.;YAKIHARA, TSUYOSHI C/O YOKOGAWA ELECTRIC CORP.;KOBAYASHI, SHINJI C/O YOKOGAWA ELECTRIC CORP.;OKA, SADAHARU C/O YOKOGAWA ELECTRIC CORP.;KAMATA, HIROMI C/O YOKOGAWA ELECTRIC CORP.
分类号 G01R13/20;G01R13/34;G11C27/02;(IPC1-7):G01R13/34;H01L29/88 主分类号 G01R13/20
代理机构 代理人
主权项
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