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发明名称 POLYSILICON PLUG FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07235511(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940046570 申请日期 1994.02.22
申请人 SONY CORP 发明人 UENO TAKAHISA
分类号 H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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