发明名称 Vorrichtung zum Herstellen einer Schicht im Vacuum.
摘要
申请公布号 DE69111540(D1) 申请公布日期 1995.08.31
申请号 DE19916011540 申请日期 1991.09.10
申请人 ANELVA CORP., FUCHU, TOKIO/TOKYO, JP;NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AKETAGAWA, KEN-ICHI C/O ANELVA CORPORATION, FUCHU-SHI, TOKYO, JP;SAKAI, JUNRO C/O ANELVA CORPORATION, FUCHU-SHI, TOKYO, JP;MURAKAMI, SHUN-ICHI C/O ANELVA CORPORATION, FUCHU-SHI, TOKYO, JP;MUROTA, HIROYOSHI C/O ANELVA CORPORATION, FUCHU-SHI, TOKYO, JP;TATSUMI, TORU, MINATO-KU TOKYO, JP
分类号 C23C14/56;C23C16/458;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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