| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07211913(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940007419 |
申请日期 |
1994.01.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KATAYAMA KOZO;HISAMOTO MASARU;NAKAMURA YOSHITAKA;KOBAYASHI NOBUYOSHI;NAGAI AKIRA |
| 分类号 |
H01L29/78;B82B1/00;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/15;H01L29/66;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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