发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07211691(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940007457 申请日期 1994.01.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NAKAMURA YUKIO
分类号 H01L21/306;H01L21/304;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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