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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PLASMA CVD
摘要
申请公布号 JPH07183227(A) 申请公布日期 1995.07.21
申请号 JP19930327198 申请日期 1993.12.24
申请人 NEC CORP 发明人 NAKADA SHINICHI
分类号 C23C16/50;C23C16/515;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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