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发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07168367(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930316822 申请日期 1993.12.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WATABE KEIJI;YANO EI;NAMIKI TAKAHISA;IGARASHI YOSHIKAZU;KURAMITSU YOKO;OIKAWA AKIRA;IKEDA YUMIKO
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/11;G03F7/26;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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