| 发明名称 |
ELECTROSTATIC ACTUATOR AND ITS DRIVING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07143763(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
| 申请号 |
JP19930307544 |
申请日期 |
1993.11.12 |
| 申请人 |
YASKAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
MATSUZAKI KAZUNARI;MATSUDA HIROSHI;NAKAMURA TAKAYUKI |
| 分类号 |
H02N1/00;B81B5/00;(IPC1-7):H02N1/00 |
主分类号 |
H02N1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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