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发明名称 Verfahren zum Untersuchen von Teilchenmustern
摘要
申请公布号 DE4040726(C2) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 DE19904040726 申请日期 1990.12.19
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 WATANABE, HARUHISA, HACHIOJI, TOKIO/TOKYO, JP;TANAKA, SATOSHI, HINO, TOKIO/TOKYO, JP;MATSUYAMA, SHINYA, HACHIOJI, TOKIO/TOKYO, JP;SEMBU, KEITA, TOKOROZAWA, SAITAMA, JP
分类号 G01N33/543;(IPC1-7):G01N33/53;G11B15/70 主分类号 G01N33/543
代理机构 代理人
主权项
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