发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS FABRICATION
摘要
申请公布号 JPH07135312(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930189011 申请日期 1993.06.30
申请人 SONY CORP 发明人 YAMADA MAKOTO
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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