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发明名称
SUPPORTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0794663(A)
申请公布日期
1995.04.07
申请号
JP19930233880
申请日期
1993.09.20
申请人
FUJITSU LTD;FUJITSU TOHOKU ELECTRON:KK
发明人
KUSAKA KATSUHIRO;TSUJIMURA TAKEHISA;SHIMIZU ATSUKAZU;KAJIKI ATSUNORI;YAMANISHI SATOO
分类号
H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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