发明名称 SUPPORTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0794663(A) 申请公布日期 1995.04.07
申请号 JP19930233880 申请日期 1993.09.20
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU TOHOKU ELECTRON:KK 发明人 KUSAKA KATSUHIRO;TSUJIMURA TAKEHISA;SHIMIZU ATSUKAZU;KAJIKI ATSUNORI;YAMANISHI SATOO
分类号 H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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