| 发明名称 |
LOCAL PHOTOELECTRON DETECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0783859(A) |
申请公布日期 |
1995.03.31 |
| 申请号 |
JP19930226194 |
申请日期 |
1993.09.10 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
YAMAMOTO TAKUMA;NAKAGIRI NOBUYUKI;FUJISAKI HISAO |
| 分类号 |
G01N23/227;G01Q30/18;G01Q60/00;G01Q60/16;(IPC1-7):G01N23/227 |
主分类号 |
G01N23/227 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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