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发明名称 X-RAY OPTICAL ELEMENT AND X-RAY OPTICAL SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0784108(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930229173 申请日期 1993.09.14
申请人 NIKON CORP 发明人 MURAKAMI KATSUHIKO
分类号 G02B5/10;G03F7/20;G21K1/06;G21K7/00;(IPC1-7):G02B5/10 主分类号 G02B5/10
代理机构 代理人
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